单选题 对于深宽比很大的沟槽或孔洞进行金属覆盖，下列PVD技术中，台阶覆盖能力（Step Coverage）最差的是？

单选题 打开充有惰性气体（如Ar）的真空室时，需特别警惕哪种风险？

单选题 设备运行中，腔体压力突然异常升高，同时工艺气体流量计显示流量异常增大。你应首先检查？

单选题 在沉积过程中，石英晶振片（QCM）的速率读数发生剧烈、无规律的跳动，首先应怀疑？

单选题 磁控溅射靶的“跑道”状侵蚀刻痕不均匀（一端深一端浅），最可能的原因是？

单选题 在PVD设备中，使用液氮冷阱（Cold Trap）的主要目的不包括？

单选题 在启动涡轮分子泵之前，通常需要先启动前级泵将系统抽至一定真空度（如10 Pa以下），主要原因是？

单选题 在抽真空初期，真空计（如电阻规）读数下降很快，但在中真空阶段（如1-10 Pa）下降明显变慢。此时，最可能的限制因素是？

单选题 一台标称抽速为1000 L/s的分子泵，对50 L的腔体从10⁻² Pa抽到10⁻⁴ Pa，不考虑放气，理论最短时间约为？