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判断题 集成电路制造中使用的化学品纯度是9个9。( )
判断题 整体工艺良品率是晶圆生产厂良品率与晶圆电测良品率的乘积。( )
判断题 在掺杂过程中,晶圆中出现的极少量的,具有电性的可移动离子污染物会改变器件的工作特性和可靠性参数。( )
判断题 若晶圆物理上没有损坏,可使用化学与CMP相结合的方法,去除表面附加层,产生一个新的晶圆表面,用作测试晶圆用。( )
判断题 净化间中人员是最大的微粒污染源。( )
判断题 氮气在集成电路工艺中可以用于吹洗气体和工艺气体,两种应用中需要相同的纯度。( )