单选题 晶向为<111>、8英寸P型半导体材料的定位方式是沿着硅锭长度方向研磨出( )。

A、 一个基准面
B、 两个基准面且呈45度角
C、 两个基准面且呈90度角
D、 定位槽
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相关试题

单选题 单晶硅生长完成后,需要进行质量检验,其中热探针法可以测量单晶硅的( )参数。

A、 电阻率
B、 直径
C、 少数载流子寿命
D、 导电类型

单选题 用四氯化硅氢还原法进行硅提纯时,通过( )可以得到高纯度的四氯化硅。

A、 高温还原炉
B、 精馏塔
C、 多晶沉积设备
D、 单晶炉

单选题 完善的精馏技术可将杂质总量降低到( )量级。

A、 10-2~10-5
B、 10-5~10-7
C、 10-7~10-10
D、 10-17~10-20

单选题 从安全上看,四氯化硅氢还原法、三氯氢硅氢还原法、硅烷热分解法的安全性从小到大排列的顺
序为:( )。

A、 硅烷热分解法<四氯化硅氢还原法<三氯化硅氢还原法
B、 四氯化硅氢还原法<硅烷热分解法<三氯化硅氢还原法
C、 三氯化硅氢还原法<硅烷热分解法<四氯化硅氢还原法
D、 硅烷热分解法<三氯化硅氢还原法<四氯化硅氢还原法

单选题 单晶炉的开机顺序正确的是( )。

A、 电源开关→加热器开关→坩埚开关→籽晶开关
B、 电源开关→坩埚开关→加热器开关→籽晶开关
C、 电源开关→籽晶开关→坩埚开关→加热器开关
D、 籽晶开关→坩埚开关→加热器开关→电源开关

单选题 二氧化硅和碳在( )℃的环境下反应可生成粗硅。

A、 100~200
B、 500~700
C、 700~900
D、 1600~1800

单选题 单晶炉中籽晶轴的作用是( )。

A、 保证炉内温度均匀分布及散热
B、 带动籽晶上下移动和旋转
C、 起支撑作用
D、 提供一个原子重新排列标准

单选题 {该图为单晶硅生长环节( )的示意图。
}

A、 缩颈
B、 引晶
C、 放肩
D、 等径生长