填空题 三氯氢硅在空气中爆炸极限（ ）。禁忌物：（ ）、强碱、强氧化剂、水、醇类、铵类。

填空题 四氯化硅：别名：氯硅烷、是一种（ ）或（ ）发烟液体，有（ ）气味，易潮解, 受高热分解产生有毒的氯化物气体。

填空题 三氯氢硅化学式：（ ）、分子量：（ ）、密度：（ ），沸点：（ ）、闪点：-13.9℃ 、着火点：220℃。

填空题 硅芯击穿影响因素： （ ）、 （ ）、 （ ） 、炉内温度 、电阻率、有无PN结。

填空题 三氯氢硅在常温下是一种具有（ ）气味、（ ）、易爆、（ ）、无色透明、（ ）的液体，在潮湿空气中发生反应产生白烟。

填空题 还原反应影响因素：（ ）、 （ ）、（ ）、反应混合气配比 、（ ）、 （ ）。

填空题 N型半导体是指以掺杂第Ⅴ族元素（ ）为主，主要依靠（ ）提供（ ）为主的半导体称为N型半导体。

填空题 多晶硅还原反应主要受以下因素影响：反应温度、沉积硅载体、（ ）、混合气配比、（ ）、 反应时间此外，还原炉炉体结构、气场分布等因素也会对硅棒生长产生重要影响。