传感器1

表6.6　一组基础数据

x

1

2

3

4

5

y

2.20

4.00

5.98

7.90

10.10

图6.12　差动式电容加速度传感器结构

差动式电容加速度传感器结构如图6.12所示。它有两个固定极板（与壳体绝缘），中间有一用弹簧片支撑的质量块，此质量块的两个端面经过磨平抛光后作为作为动极板（与壳体电连接）。